ICP-MS 已经成为检测和表征溶液中纳米颗粒的首选技术。与其他技术相比，ICP-MS 的独特之处在于它能够在一次快速分析中提供有关纳米颗粒大小、粒度分布、元素组成以及数量浓度的信息。

此外，只有 ICP-MS才能同步测定样品中溶解态分析物的浓度。ICP-MS可在两种不同模式下使用：在单颗粒模式下表征单个颗粒， 或者与场流分离或毛细管电泳等分离技术联用以表征大批量样品。这两种技术各有优劣，但是配合使用时却能优势互补。

纳米颗粒属于微观颗粒，既可以天然存在，也可以 人工制造（工程制造），其尺寸范围为10-9m 至10-7m，形状任意 (IUPAC)。工程制造的纳米颗粒在提高半导体材料到食品、药品、化妆品以及消费品等各类产品的性能或性质方面的使用正在迅速增加。由于这些材料具有新颖的物理和化学特性，其环境宿命和毒理学性质的许多细节都依然未知。因此，亟需一种快速、准确且灵敏的技术，用于表征 和定量各种类型样品中的纳米颗粒。

ICP-MS 最近实现的一些针对特定应用的硬件和软件增强功能表 明它能够满足这些要求。ICP-MS 在检测、表征和定量分析纳米颗粒方面的主要优势体现在它的高灵敏度和特异性，与动态光散射检测等其他技术相比，ICP-MS 可提供更多信息。此外，与扫描电镜或透射电子显微镜（SEM、 TEM）、原子力显微镜 (AFM) 等技术或差速离心等 分离技术相比，ICP-MS分析速度更快，而且几乎不需要样品前处理。 

但是，ICP-MS 分析纳米颗粒本身也存在一些特有挑战。使用ICP-MS 检测表征纳米颗粒可通过两种不同的方法来实现，每种方法均有自身的优势和挑战。